为了避免错误和可能的晶圆损坏,需要检测盒内的晶圆是否存在。
盒周围的空间有限,此时需要简单而小巧的解决方案。
配用塑料光纤的小巧的放大器。
提供明亮的柱状指示灯,使其更容易查看。
传感器的光纤沿盒中的晶圆移动,检测哪些槽已被占用以及哪些槽是空的。