通过特定的对射式光纤配合使用，可确保晶圆片位于机械臂末端执行器上。

当机械臂将晶圆片移入真空室内时，光纤束会发生中断，通过采用特定算法，根据特定光纤的感应时长来计算确切的晶圆位置。

若晶圆片偏离中心，机械臂就能将晶圆片调整到正确位置，防止损坏晶片和设备。

该光纤具有90⁰视角且光束小，还适用于高温环境，如半导体制造的真空室区域。